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刻蝕機(jī)是晶圓生產(chǎn)過程中極為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，刻蝕機(jī)的腔室（chamber）在刻蝕過程中受等離子體的侵蝕而失效，需要定期進(jìn)行重新噴涂。聯(lián)合涂層技術(shù)公司與國內(nèi)知名研究院共同研發(fā)的刻蝕機(jī)腔室的噴涂技術(shù)，已經(jīng)成功通過了有關(guān)部門的鑒定，效果完全達(dá)到了用戶以往在日本噴涂所達(dá)到的全部技術(shù)指標(biāo)。
此外，熱噴涂在靜電吸盤（靜電卡盤）上也有重要的應(yīng)用。
